(72) | Inventeur(s) : SILBERBERG, Eric ; PACE, Sergio ; WILDERS, Dimitri ; BONNEMANN, Rémy ; GAOUYAT, Lucie |
(57) | Abrégé : Cette invention concerne une installation de dépôt par évaporation sous vide (1) destinée à déposer en continu, sur un substrat en mouvement, des revêtements faits d'alliages métalliques comprenant un élément principal et au moins un élément supplémentaire, l'installation comprenant une chambre de dépôt par évaporation sous vide (2) et des moyens de déplacement du substrat (5) à travers la chambre, l'installation comprenant en outre : •- une coucheuse à jet de vapeur (3), •- un creuset d'évaporation (4) approprié pour alimenter la coucheuse à jet de vapeur avec une vapeur comprenant l'élément principal et ledit/lesdits élément(s) supplémentaire(s), •- un four de recharge (9) apte à alimenter le creuset d'évaporation avec l'élément principal à l'état fondu et capable de maintenir un niveau constant de liquide dans le creuset d'évaporation, •- une unité d'alimentation (11) appropriée pour être alimentée en ledit/lesdits élément(s) supplémentaire(s) à l'état solide et appropriée pour alimenter le creuset d'évaporation avec ledit/lesdits élément(s) supplémentaire(s) indifféremment à l'état fondu, à l'état solide ou à l'état partiellement solide. L'invention concerne en outre un procédé de dépôt continu, sur un substrat en mouvement, de revêtements formés à partir d'alliages métalliques comprenant un élément principal et au moins un élément supplémentaire. |