ROYAUME DU MAROC

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OFFICE MAROCAIN DE LA PROPRIETE INDUSTRIELLE ET COMMERCIALE

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المملكة المغربية

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المكتب المغربي

للملكية الصناعية و التجارية

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(12)FASCICULE DE BREVET
(11)

N° de publication :

MA 37476 B1

(43)

Date de publication :

30.11.2017

(51)

Cl. internationale :

H01L 27/142

(21)

N° Dépôt :

37476

(22)

Date de Dépôt :

28.01.2013

(30)

Données de Priorité :

03.05.2012 FR 1254088

(86)

Données relatives à l'entrée en phase nationale selon le PCT :

PCT/FR2013/05017428.01.2013

(71)

Demandeur(s) :

NEXCIS, 190 Avenue Célestin Coq Zone Industrielle F-13106 Rousset (FR)

(72)

Inventeur(s) :

Dunne, Brendan

(74)

Mandataire :

SABA&CO

(54)

Titre : GRAVURE PAR LASER D'UN EMPILEMENT DE COUCHES MINCES POUR UNE CONNEXION DE CELLULE PHOTOVOLTAÏQUE

(57)

Abrégé : L'invention concerne un traitement de couches minces (CIGS, Mo) en vue d'une formation de connexion d'une cellule photovoltaïque (Cl, C2) comportant ces couches minces, lesquelles comportent au moins : - une première couche (CIGS), à propriétés photovoltaïques, déposée sur une deuxième couche (Mo), et - ladite deuxième couche, de contact métallique, déposée sur un substrat (SUB). On prévoit en particulier les étapes : - graver, dans ladite première couche (CIGS), au moins une première tranchée de première largeur (L1) pour une mise à nu de la deuxième couche (Mo); et - graver, dans ladite première tranchée, une deuxième tranchée pour une mise à nu du substrat, la deuxième tranchée étant d'une deuxième largeur (L2) inférieure à la première largeur (L1). Les gravures des première et deuxième tranchées sont par ailleurs réalisées par tirs lasers, pendant une même étape globale de gravure, le procédé étant caractérisé en ce que ladite étape globale de gravure comporte: - une opération de gravure fine à proximité de fronts (FR1, FR2) destinés à délimiter la première tranchée; - et une opération de gravure grossière entre les premier et deuxième fronts