| (57) | Abrégé : Le fluor élémentaire est utilisé comme agent de gravure pour la fabrication de dispositifs électroniques, notamment des dispositifs semi-conducteurs, des dispositifs microélectromécaniques, des transistors à couches minces, des écrans plats et des panneaux solaires, et comme agent de nettoyage de chambres principalement pour les appareils de PECVD. À cet effet, le fluor est souvent produit sur site. L'invention concerne un procédé qui empêche la contamination du fluor élémentaire par des impuretés gazeuses telles que l'air ou l'humidité en le produisant sur site et en l'acheminant jusqu'au point d'utilisation sous une pression supérieure à la pression ambiante. |
